廠房氣路安裝方案-氣體管道工程氣體存放及輸送系統(tǒng) 　　氣體管道工程氣體存放及輸送系統(tǒng)，氣體管道工程是輸送氣體的一種工程，不同種類的氣體該如何存放，氣體輸送系統(tǒng)調(diào)試及檢驗(yàn)方法都會(huì)提到。那么氣體管道工程的組成件有哪些?下面由深圳蓋斯帕克公司的工作人員為大家介紹： 　　1、氣體管道組成件(管子、閥門、管件、法蘭、補(bǔ)償器、密封墊片、緊固件、膨脹接頭、撓性接頭、耐壓接頭、耐壓軟管、疏水器、過(guò)濾器、分離器等) 　　2、管道支承件包括安裝件(吊桿、彈簧吊架、斜拉桿、平衡錘、松緊螺栓、支撐桿、鏈條、導(dǎo)軌和錨固件以及負(fù)荷式固定件，如鞍座、底座、滾柱、托架和滑動(dòng)支座)和附著件(管吊、吊耳、卡環(huán)、管夾、U形夾、緊固夾板和裙式管座) 　　3、管道的焊接材料(焊條、焊絲、焊劑、保護(hù)氣體)等應(yīng)按管道系統(tǒng)配套按工期要求供貨，滿足施工進(jìn)度。 　　4、其他材料如玻璃鋼、橡膠、塑料、油漆、隔熱(保熱或保冷)材料、防水材料、防腐材料等，能保證按工期要求供貨。 [b]　　行業(yè)氣體的分類[/b] 　　普通氣體，也稱大宗氣體 (Bulk gas )：氫氣(H2)、氮?dú)?N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等 　　特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等 [b]　　特種氣體存放及使用[/b] 　　針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet)內(nèi)，再透過(guò)管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥箱(VMB, ValveManifold Box)，而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn)(POU, Point of Use)，于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前，會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤(GB, GasBox)與制程控制模塊聯(lián)機(jī)，以質(zhì)流控制器(MFC, Mass FlowController)進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇，而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開(kāi)放式的氣瓶架(GasRack)與閥盤(VMP, Valve Manifold Panel)進(jìn)行供應(yīng)。