蓋斯帕克長期與集成電路廠家合作，專門開發(fā)設(shè)計安裝的高純的EP級特氣柜、氣體分配柜廣泛用于濕蝕刻(wet etching)、干蝕刻(dry etching)、常壓化學(xué)氣相淀積（APCVD）、低壓化學(xué)氣相淀積（LPCVD）、等離子體化學(xué)氣相淀積（PECVD）、濺射（PF）、光刻等半導(dǎo)體設(shè)備的供氣服務(wù)，同時還算征對各家工廠的實際特點，量身定制地開發(fā)了危險氣體監(jiān)控管理系統(tǒng)（GDS），為廠家的安全生產(chǎn)保駕護行。還相應(yīng)開發(fā)了上述生產(chǎn)設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)，保證了工廠廢氣的排放達標