氣路管道標(biāo)識(shí)-高純?nèi)細(xì)夤艿拦こ滔到y(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域 　　項(xiàng)目包括半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示器、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)藥、各種實(shí)驗(yàn)室、研究所、標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試等高新技術(shù)行業(yè)。 　　高純氣體管道技術(shù) 　　高純度氣體管道技術(shù)是高純度氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是高純度氣體能夠供應(yīng)到要求的供氣點(diǎn)的重要技術(shù)。 所謂高純氣管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、接頭和附件的選擇、施工和安裝、試驗(yàn)和測(cè)試等。 　　一般氣體種類 　　普通氣體電子工業(yè)中普通氣體的分類:普通氣體，又稱本體氣體:氫( H2)、氮( N2)、氧( O2)、氬( A2)等特殊氣體( Specialty gas )主要為SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCLcf4n h3pocl3si h2cl2si HCl3n h3bcl3s if4c l3co2f6n2o2hfhbrfsf6...等等。 特殊氣體的種類通常分為腐蝕性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。 　　一般半導(dǎo)體氣體的分類如下 　　(1)、腐蝕性/毒性: HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 …等 　　(二)、可燃性: H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等 　　(三)、助燃性: O2、Cl2、N2O、NF3…等 　　(四)、惰性: N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等半導(dǎo)體氣體多對(duì)人體有害。 　　特別是SiH4等一些氣體具有自燃特性。 一旦發(fā)生泄漏，就會(huì)與空氣中的氧反應(yīng)激烈，開(kāi)始燃燒。 AsH3也有毒性。 輕微的泄漏可能會(huì)傷害人的生命。 由于這些明顯的危險(xiǎn)，對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的安全要求特別高。