氣路管道大小計(jì)算-電子特種氣體Local Scrubber尾氣處理方式 特種氣體尾氣處理方式 特種氣體對身體健康以及環(huán)境都會產(chǎn)生很大的危害，如何處理特氣尾氣，用什么設(shè)備處理，這里將會進(jìn)行深入介紹。 特種氣體尾氣現(xiàn)狀 尾氣作為特氣系統(tǒng)的衍生物不可避免的存在。過去，在很多高校，由于實(shí)驗(yàn)室用氣量不大，建設(shè)單位的業(yè)主沒有充分意識到尾氣的排放問題，隨著更多半導(dǎo)體工廠雨后春筍的涌現(xiàn)，生產(chǎn)用特氣尾氣的排放越來越多的引起了重視。那么怎么排放，如何排放成為擺在很多用戶面前的問題。同時(shí)，尾氣處理裝置如何選配，必須具備什么功能，蓋斯帕克科技通過實(shí)際項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)，給大家一 一闡述。 特氣系統(tǒng)尾氣排放處理裝置的處理方式： 尾氣處理裝置的類型，應(yīng)根據(jù)所處理的排氣中特種氣體的特性進(jìn)行選擇，不相容特種氣體應(yīng)分別設(shè)置尾氣處理裝置; 尾氣處理裝置應(yīng)靠近GR、GC等特種氣體設(shè)備布置; 特種氣體尾氣處理方法宜采用干式處理吸附、濕式洗滌、加熱分解處理、燃燒處理、等離子分解處理、稀釋處理及以上幾種方式的組合。 Local Scrubber廢氣處理柜 Local Scrubber(本地式小型廢氣處理柜)是近年來特氣系統(tǒng)使用非常廣泛的尾氣處理設(shè)備，該設(shè)備有電加熱燃燒、水洗滌等多用途組合，尾氣經(jīng)過設(shè)備處理后，再進(jìn)行排放，也是非常環(huán)保的生產(chǎn)方式。