400-900-9093
項目描述
特氣系統(tǒng)設(shè)備為潔凈室里所有工藝設(shè)備提供所需的工藝氣體，是混合集成平臺必不可缺的基本設(shè)備，屬于混合集成平臺的核心裝備，將支撐微電子學(xué)院科研和教學(xué)。本設(shè)備的建設(shè)對于電子科學(xué)與技術(shù)和光學(xué)工程學(xué)科建設(shè)有重要的意義，年使用機(jī)時不少于3000 小時。
該項目氣體種類共計25種，含17種毒腐/易燃爆/極危險特種氣體和8種普通高純氣體。配置全自動特氣柜GC、全自動氣瓶架GR、特種氣體VMB、特種氣體VMP、管道輸送系統(tǒng)(包括雙套管管道輸送系統(tǒng))、二次配、廢氣廢液處理設(shè)備Scrubber、生命安全系統(tǒng)GMS、通風(fēng)及廢氣處理。
