400-900-9093
產(chǎn)品名稱：
雙瓶全自動特氣柜
產(chǎn)品型號：
HSPGC150206
產(chǎn)品特點：
...
400-900-9093
sales@szgp.com.cn
深圳寶安松白路 創(chuàng)維數(shù)字大廈12樓
產(chǎn)品描述：
雙瓶特氣柜(Gas
Cabinet)
名稱：雙瓶特氣柜
規(guī)格：雙工藝氣瓶，全自動
型號：HSPGC150206
■ 特氣柜尺寸：W850寬×D500深×H1800高
■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR接口
■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口
■ 氣動隔膜閥：CDA驅(qū)動，1/4"卡套接口
■ VENT排空管：1/2MVCR接口
■ 工藝氣體出口：2個，1/4"MVCR接口
■ 盤面規(guī)格：1/4"盤面
■ 標準配備：自動切換，防爆防腐柜體，防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報警，遠程切斷，欠壓報警，主材SS316L
■ 柜體換氣量:OD100mm排氣口，SiH4-1200次/小時，其余300次/小時
■ 控制柜尺寸：W850寬×D230深×H320高
■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保護
■ 操作界面：7"彩色觸摸屏
■ 選配：工藝氣瓶重量監(jiān)控器，工藝氣體超壓報警，盤面加熱及溫控裝置，報警信號手機短信與電話通知
適用范圍：應(yīng)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設(shè)備上，體現(xiàn)于芯片半導(dǎo)體、光伏太陽能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。
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