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名稱：閥門分配箱(Valves Manifold Box)

規(guī)格：一進多出

型號：HSPVMB130602 

■ 特氣柜尺寸：W550寬×D500深×H600高 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口 

■ 工藝氣體：1進N出（N=2~9） 

■ 盤面規(guī)格：1/4"盤面

■ 標準配備：防爆防腐柜體，防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報警，主材SS316L

■ 箱體換氣量:4"排氣口，SiH4-1200次/小時，其余300次/小時 

■ 選配：外吹掃，抽真空，全自動控制，工藝氣體超壓報警，遠程切斷，盤面加熱及溫控裝置，泄漏報警，報警信號手機短信與電話通知 

■ 適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。