400-900-9093
產(chǎn)品名稱(chēng)：
16路閥門(mén)分配箱VMB
產(chǎn)品型號(hào)：
HSPVMB130616
產(chǎn)品特點(diǎn)：
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400-900-9093
sales@szgp.com.cn
深圳寶安松白路 創(chuàng)維數(shù)字大廈12樓
產(chǎn)品描述：
名稱(chēng)：閥門(mén)分配箱(Valves Manifold Box)
規(guī)格：一進(jìn)16出
型號(hào)：HSPVMB130616
■ 特氣柜尺寸：W550寬×D500深×H600高
■ VENT排空管：1/2MVCR接口
■ 工藝氣體：1進(jìn)N出(N=2~16)
■ 盤(pán)面規(guī)格：1/4"盤(pán)面
■ 標(biāo)準(zhǔn)配備：防爆防腐柜體，防爆自鎖門(mén)，防爆玻璃觀(guān)察窗，泄漏報(bào)警，主材SS316L
■ 箱體換氣量: 4"排氣口，SiH4-1200次/小時(shí)，其余300次/小時(shí)
■ 選配：外吹掃，抽真空，全自動(dòng)控制，工藝氣體超壓報(bào)警，遠(yuǎn)程切斷，盤(pán)面加熱及溫控裝置，泄漏報(bào)警，報(bào)警信號(hào)手機(jī)短信與電話(huà)通知
適用范圍：應(yīng)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備上，適用于高校實(shí)驗(yàn)室、材料分析實(shí)驗(yàn)室、芯片半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。
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