電子特種氣體是特種氣體的一個重要分支，是集成電路（IC）、顯示面板（LCD、OLED）、光伏能源、光纖光纜等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的關(guān)鍵性原材料，廣泛應用于薄膜、光刻、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝，其質(zhì)量對電子元器件的性能有重要影響。
氣體的產(chǎn)品種類豐富，電子元器件在其生產(chǎn)過程中對氣體產(chǎn)品存在多樣化需求。就集成電路制造過程中需要的高純特種氣體和混合氣體的種類超過50種，且每一種工藝步驟中都會用到特定的氣體。此外，在顯示面板、LED、太陽能電池片等器件的制造中的不同工藝環(huán)節(jié)均會用到多種特種氣體。
電子特氣在其生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術(shù)，下游客戶對產(chǎn)品質(zhì)量要求較高。尤其是極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等精密化程度非常高的應用領(lǐng)域，對特種氣體的純化、雜質(zhì)檢測、儲運技術(shù)都有著嚴格的要求。
高純氣體純度：特種氣體要求超純、超凈。純度每提升一個 N 以及粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個數(shù)量級都將帶來工藝復雜度和難度的顯著提升。例如，12吋、90nm制程的集成電路制造技術(shù)要求電子特氣的純度要在 5N~6N 以上，有害的氣體雜質(zhì)濃度需要控制在 ppb（10-9）；在更為先進的28nm 及目前國際一線的 6nm~10nm 集成電路制程工藝中，電子特氣的純度要求更高，雜質(zhì)濃度要求甚至達到 ppt（10-12）級別。
電子混合氣配比的精度：隨著混合氣中產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升，常要求氣體供應商能夠?qū)Χ喾N ppm（10-6）乃至 ppb（10-9）級濃度的氣體組分進行精細操作，其配制過程的難度與復雜程度也顯著增大。
氣體儲運：保證氣體在存儲、運輸、使用過程中不會被二次污染，對氣瓶內(nèi)部、內(nèi)壁表面的處理涉及多項工藝，均依賴于長期的行業(yè)探索和研發(fā)；此外，對于某些具有高毒性或危險性的氣體，需要使用負壓氣瓶儲運，以減少危險氣體泄露風險。
氣體分析檢測：由于需要檢測的雜質(zhì)含量低至 ppb 級別，需要使用特殊的氣相色譜、ICP-AES、ICP-MS 等非常規(guī)分析方法。
電子特氣工藝系統(tǒng)：
特氣系統(tǒng)是指特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設(shè)備、管道和部件的總稱。特氣系統(tǒng)工程是用于實現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。
特氣系統(tǒng)組成
特氣系統(tǒng)由儲存、輸送、分配、控制四類設(shè)備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管部分(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。
特氣系統(tǒng)特點
特氣系統(tǒng)中的每臺設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警，并可擴展地震監(jiān)控報警;單臺設(shè)備可以獨成系統(tǒng)獨立運轉(zhuǎn)，也可多臺設(shè)備用PLC或TGO連起來組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對接。
應用行業(yè)及設(shè)備
芯片半導體、微電子企業(yè)、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業(yè)，常配套用于濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設(shè)備。
