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一. SiH4氣體管道技術(shù)要求 （自燃、易燃類氣體）

SiH4管道采用雙套管連接方式，內(nèi)管使用SS316L EP（電子拋光）不銹鋼管，外管采用SS316LBA不銹鋼管，三通采用成品雙套三通，彎頭為套管自動焊接，內(nèi)外管道連接采用自動軌道氬弧焊；設(shè)備、閥門無法蘭、卡套或螺紋連接， 終端隔膜閥采用VCR接頭；

不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，為防止管道內(nèi)壁產(chǎn)生氧化膜及塵埃粒子侵入，應(yīng)通入經(jīng)0.01μm～0.03μm過濾器過濾的潔凈氬氣保護；管道連接暫停施工時，應(yīng)充高純Ar保護，管頭應(yīng)用塑料管帽封堵； 

管道系統(tǒng)試壓規(guī)定及要求 

1) 強度實驗：實驗壓力0.6Mpa，實驗介質(zhì)為高純氮氣，30min內(nèi)壓力不降為合格； 

2) 嚴密性實驗：實驗壓力0.5Mpa，實驗介質(zhì)為高純氮氣，實驗時間24H，壓力不降為合格； 

3) 氦檢測試：試驗介質(zhì)為高純氦氣，泄露率1*10-9 atm.cc/sec 

二. NH3氣體管道技術(shù)要求 （毒腐類氣體）

NH3管道采用SS316L EP（電子拋光）不銹鋼管,三通采用成品三通，大于1/2”彎頭采用成品彎頭，小于1/2”彎頭采用彎管器施工，管道連接采用自動軌道氬弧焊；設(shè)備、閥門無法蘭、卡套或螺紋連接；管道全程恒溫伴熱； 終端隔膜閥采用VCR接頭； 

不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，為防止管道內(nèi)壁產(chǎn)生氧化膜及塵埃粒子侵入，應(yīng)通入經(jīng)0.01μm～0.03μm過濾器過濾的潔凈氬氣作保護；管道連接暫停施工時，應(yīng)充Ar保護，管頭應(yīng)用塑料管帽封堵； 

3．管道系統(tǒng)試壓規(guī)定及要求 

1) 強度實驗：實驗壓力0.6Mpa，實驗介質(zhì)為高純氮氣，30min內(nèi)壓力不降為合格； 

2) 嚴密性實驗：實驗壓力0.5Mpa，實驗介質(zhì)為高純氮氣，實驗時間24H，壓力不降為合格； 

3) 氦檢測試：試驗介質(zhì)為高純氦氣，泄露率1*10-9 atm.cc/sec