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　　特種氣體管道工程

　　什么是特氣管道工程

　　本詞條特指高純、超高純易燃易爆、毒腐性工藝氣體的管道輸送工程。

　　特氣管道工程的特點(diǎn)

　　1. 高壓

　　2. 危險(xiǎn)性高：毒腐、易燃易爆、自燃等

　　3. 部分毒腐氣體呈液態(tài)

　　實(shí)際案例

　　某高校微電子研究院其ICP、PECVD等進(jìn)口設(shè)備需要用到氫氣、甲烷、硅烷、氨氣、三氯化硼等易燃易爆、自然、有毒有腐蝕性的氣體。

　　氣源設(shè)置在一樓特氣房，管道經(jīng)管井垂直輸送至三樓、四樓實(shí)驗(yàn)室設(shè)備處。蓋斯帕克項(xiàng)目組在此項(xiàng)目施工時(shí)充分考慮到現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境和氣體特性，特殊氣體在氣房放置在特氣柜內(nèi)，其有24小時(shí)不間斷排風(fēng)、泄露偵測(cè)、壓力報(bào)警、火焰探測(cè)等功能，毒腐性液相氣體使用伴熱帶纏繞盤面，并使用雙套管輸送，內(nèi)套管保持負(fù)壓，并有負(fù)壓監(jiān)測(cè)。

http://www.n45a.com/content/916.html    　　管道經(jīng)過管井到達(dá)室內(nèi)后，特氣全部進(jìn)入氣體分配箱VMB進(jìn)行再分配，VMB可以將單一氣體壓力、流量調(diào)節(jié)至設(shè)備精準(zhǔn)需求，最后進(jìn)入設(shè)備使用。