什么是高純氣體

　　純度超過(guò)99.999%(5N)的氣體統(tǒng)稱為高純氣體。

　　高純氣體系統(tǒng)工程

　　高純氣體系統(tǒng)是指高純氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配過(guò)程的設(shè)備、管道和部件的總稱。高純氣體系統(tǒng)工程是用于實(shí)現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。

　　高純氣體系統(tǒng)組成

　　高純系統(tǒng)由儲(chǔ)存、輸送、分配、控制四類設(shè)備組成。其中“存儲(chǔ)”指氣源部分(氣瓶架GR)，“輸送”指配管部分，“分配”指二次配部分(氣體分配盤(pán)VMP)，“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。

　　高純氣體系統(tǒng)特點(diǎn)

　　高純氣體系統(tǒng)中的每臺(tái)設(shè)備均配有自己的控制系統(tǒng)及操作界面，可獨(dú)立運(yùn)轉(zhuǎn)，可配溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警，并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警;也可多臺(tái)設(shè)備用PLC或TGO連起來(lái)組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一進(jìn)行管理監(jiān)控，報(bào)警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對(duì)接。

　　適合場(chǎng)合

　　既適合芯片半導(dǎo)體、微電子企業(yè)、光伏太陽(yáng)能、生物制藥、新材料等行業(yè)的非危險(xiǎn)氣體，同樣適合高等院校、科研院所、檢驗(yàn)檢疫單位。