一、半導(dǎo)體/集成電路
蓋斯帕克長期與集成電路廠家合作,專門開發(fā)設(shè)計安裝的高純的EP級特氣柜、氣體分配柜廣泛用于濕蝕刻(wet etching)、干蝕刻(dry etching)、常壓化學(xué)氣相淀積(APCVD)、低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)、等離子體化學(xué)氣相淀積(PECVD)、濺射(PF)、光刻等半導(dǎo)體設(shè)備的供氣服務(wù),同時還算征對各家工廠的實際特點,量身定制地開發(fā)了危險氣體監(jiān)控管理系統(tǒng)(GDS),為廠家的安全生產(chǎn)保駕護(hù)行。還相應(yīng)開發(fā)了上述生產(chǎn)設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng),保證了工廠廢氣的排放達(dá)標(biāo)。
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