制定高純/特氣設(shè)備

　　大型集中供氣系統(tǒng)分為氣源部分，輸送管道部分，終端配置設(shè)備部分。當(dāng)供應(yīng)氣體要用到特氣時(shí)，則需要依據(jù)氣體性質(zhì)、用途及所處環(huán)境來(lái)定制高純特氣設(shè)備。

　　特氣設(shè)備組成

　　氣源部分特氣柜GC、輸送特氣管道、常規(guī)為雙套管、終端配置VMB、安全監(jiān)測(cè)部分。

　　一、GC特氣柜組成

　　1、防腐防爆封閉式箱體，

　　2、分氣箱，用于安置固定氣瓶，

　　3、面板，面板由閥門(mén)組件、管道、儀表或傳感器組成，材質(zhì)均應(yīng)為EP級(jí)材質(zhì)。

　　二、特氣管道材質(zhì)

　　1、內(nèi)管為SUS316/EP級(jí)不銹鋼管，2、外管為SUS316/BA級(jí)不銹鋼管。

　　三、VMB組成

　　1、防腐防爆封閉式箱體，

　　2、面板，面板由閥門(mén)組件、管道、儀表或傳感器組成。

　　四、安全監(jiān)測(cè)

　　1、GC內(nèi)裝置偵測(cè)器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，各種報(bào)警功能，如泄漏報(bào)警，煙霧報(bào)警，壓力報(bào)警，震動(dòng)報(bào)警等保障GC運(yùn)行安全。

　　2、雙套管負(fù)壓偵測(cè)，內(nèi)管與外管見(jiàn)壓力恒定，若發(fā)生變化及時(shí)報(bào)警，3、VMB泄漏偵測(cè)報(bào)警，負(fù)壓報(bào)警。

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