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高純氣體氣瓶架-高純氣體處理設備
高純氣體氣瓶架(GR)
GR(Gas Rack)是為了滿足微電子半導體生產(chǎn)、科研要求而設計的氣體輸送中轉系統(tǒng)。GR一般由架子、閥門盤面、管件、控制器等集中在一起組成。
GR多用于普通氣體或惰性氣體的供應,是氣源部分。
蓋斯帕克高純氣瓶架GR包括:
1、根據(jù)客戶情況的特殊設計,以下安全裝備可能將集成于GR
?、貵R有帶按鍵操作的控制柜體,放置于架體上部
?、诳梢孕孤秱蓽y。
?、叟c系統(tǒng)抽風排空系統(tǒng)連接。
?、茏源祾呦到y(tǒng)。
?、輭毫蓽y。
2、安裝環(huán)境:
?、僖话阍诙栊詺怏w氣瓶架,方便人員操作,懸掛于墻面。
②控制柜柜門開關自如,不得扭曲變形,關閉不嚴。
?、郾仨氂蓪I(yè)的安裝人員進行安裝。
3、系統(tǒng)構造:GR是由氣瓶架和供氣面板組成
①柜體的組成:
不銹鋼烤漆耐腐蝕架體
?、贕as Manifold 氣體面板(根據(jù)實際需求可能有增減):
RBGL | CV3 | F1-R |
HPDV | SPGR | F1-L |
HPCV | SPGL | F2-L |
PGIR | VPG | VG |
CV2 | DPGL | EFS |
蓋斯帕克的設計目標是要開發(fā)一條可以符合客戶性能,純度,易用度,易維護度以及系統(tǒng)集成度需求的最優(yōu)級產(chǎn)品線。初看GR就可以發(fā)現(xiàn)許多已經(jīng)實現(xiàn)了的設計目標。GR設計簡潔,每樣東西都能很方便的找到和操作。許多部件都組織在一起,以方便維護。無需開門,就可以看見和操作面板。蓋斯帕克所實現(xiàn)的,就是一個易于理解、易于使用、并且易于維護。