全自動(dòng)特氣柜-特氣處理設(shè)備
全自動(dòng)特氣柜(GC)
半導(dǎo)體、芯片、新材料以及科研院等生產(chǎn)車間或?qū)嶒?yàn)室經(jīng)常會(huì)使用到電子氣體,這些電子氣體通常分為兩類,一類為普通電子氣體(普氣),另一類為特種電子氣體(特氣),普氣大多為惰性氣體,較為穩(wěn)定無危害性或危害性較小。特種氣體分為腐蝕性氣體和易燃易爆氣體,其穩(wěn)定性較差,危害性大。特氣因其特殊性質(zhì)所以對裝載與輸送的材質(zhì)要求較高。
全自動(dòng)特氣柜(GC)是高技術(shù)與高材質(zhì)的結(jié)合,適用于危害性大的特氣系統(tǒng)。蓋斯帕克Hisptech氣柜裝載并且輸送高純度有毒或易燃易爆氣體。是最優(yōu)級產(chǎn)品線的一部分,它包括柜體、分氣箱或分氣盤。它同樣可以與更大型系統(tǒng)的使用點(diǎn)進(jìn)行連接。
GC具備的組成及功能
1、自動(dòng)切換供氣配置;
2、全自動(dòng)觸摸屏操作(帶外吹掃、抽真空,自動(dòng)緊急遠(yuǎn)程切斷、事故報(bào)警,高壓保壓鋼瓶接頭測漏, 泄漏報(bào)警對接,通風(fēng)出口等);
3、符合國際安全規(guī)范的帶鋼絲玻璃觀察窗、自動(dòng)關(guān)閉門、抽風(fēng)外殼;
4、單工藝出口;
5、配置前端0.1μ過濾器,后端0.001μ終端過濾器;
6、高壓測漏測試;
7、帶自清潔功能;
8、帶欠壓報(bào)警功能;
9、防爆外柜,烤漆或不銹鋼外殼包覆;
10、視窗為夾層不銹鋼網(wǎng)防爆玻璃;
11、排風(fēng)口及閥門;
12、常開/常閉標(biāo)示掛牌;
13、防爆電控箱;
14、配置 UV/IR,噴淋頭,高溫,煙感應(yīng);
蓋斯帕克Hisptech型全自動(dòng)特氣柜(GC)大量研究,組件測試,概念發(fā)展以及客戶的意見都參與到氣體輸送產(chǎn)品的氣柜設(shè)計(jì)開發(fā)之中。